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半导体行业用超纯水水质标准

来源:本站   发布时间: 2020-04-21 11:53:49   浏览:23263次  字号: [大] [中] [小]

半导体是一种介于导体和绝缘体之间的材料,在半导体加工过程中需要使用水进行处理,该水质的要求比较高,不能含有任何离子杂质。半导体行业用超纯水设备采用先进的制水技术,有效去除水中杂质,保证设备的出水水质。

超纯水设备

半导体行业用超纯水水质标准

符合美国ASTM纯水水质标准

电子工业部高纯水水质试行标准

美国半导体工业用纯水指标

日本集成电路水质标准

国内外大规模集成电路水质标准



超纯水设备应用范围

1、电解电容器生产铝箔及工作件的清洗。

2、电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液。

3、显像管和阴极射线管生产、配料用纯水。

4、黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管径清洗用纯水。

5、液晶显示器的生产、平面需用纯水清洗及纯水配液。.

6、晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制。

7、集成电路生产中高纯水清洗硅片、高品质显像管、荧光粉生产。

8、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路。

9、LCD、LED液晶显示屏、PDP等离子显示屏。

10、超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料、实验室和中试车间。

11、汽车、家电表面抛光处理、光电产品、其他高科技精微产品。



 

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